Шестериков Е. В. , Кулинич И. В. , Казимиров А. И. «Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия» // Известия вузов. Физика 2021. №2 C.63-68
Поиск по сайту
Последние новости
Контактные данные
- 634050, Россия, г. Томск, пр. Ленина, д. 36
- Пермякова Людмила Валентиновна, ответственный секретарь
- +7 (3822) 78-37-02
- physics@mail.tsu.ru
Вы можете добавить статью